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高纯氩气

   无色无味无毒气体。化学性质极不活泼,未形成任何化合物。相对密度ds(21.1℃)1.38。气体密度1.650kg/m3(21.1℃);液体密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸点-185.9℃。熔点-189.2℃。采用空气分离提氩,即将液化的空气进行精馏,得到粗氩。抽出粗氩,经进一步提纯可得到高纯氩。

   高纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气。氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管;焊接保护气;在钛、钴和其他活性金属的生产中用作屏蔽气;在黑色冶金中用于吹炼特种钢。
   在金属冶炼方面,氧、氩吹炼是生产钢的重要措施,每炼1t钢的氩气消耗量为1~3m3。此外,对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼,以及电子工业中也需要用氩作保护气。

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