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高纯度气体输送气体的纯度、干燥度和洁净度!

来源:www.sctlhqt.com 发布时间:2021/3/26 11:13:28
2021年3月25日,气体产品作为现代工业重要的基础原料,应用范围十分广泛,在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医药医疗等部门,均使用大量的常用气体或特种气体。能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术;高纯气配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分,包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。气体的应用,特别对这些领域的高新技术有重要的影响,是其不可缺少的原料气或工艺气。也只有各种新兴工业部门和现代科学技术的需要和推动,气体工业产品才能在品种、质量和数量等方面得到飞跃发展.

常见气体的种类(高纯气体、特种气体、标准气体):

电子行业中常见气体的分类:
普通气体,也称大宗气体
氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等
特种气体    主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……
特种气体(特殊气体)的种类一般可分为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般
常用的半导体气体分类如下:
(一)、腐蚀性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
(二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等
(三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等
(四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等
半导体气体很多是对人体有害。特别是其中有些气体如SiH4的自燃性,只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应,开始燃烧;还有AsH3的剧毒性,任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害,也就是因为这些显而易见的危险,所以对于系统设计安全性的要求就特别高。